半导体行业产生的六氟乙烷有机废气该如何处理（六氟乙烷废气处理方法）
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六氟乙烷，也称为全氟乙烷，化学式为C2F6，是一种有机化合物，常温常压下外观为无色气体状，无臭无味，无毒性。六氟乙烷微溶于水，可溶于乙醇，不ke燃，但与可燃气体一同燃烧时，会分解排放出有毒气体氟化氢，在密闭容器中遇高热，有开裂与爆炸危险。半导体是六氟乙烷的重要下游市场，电子级六氟乙烷是重要的等离子蚀刻气体，可应用在硅、氮化硅、磷硅等材料蚀刻方面，并可对电子器件表面进行清洗，可以广泛应用在集成电路、微电子器件、光纤光缆、太阳能电池等领域。本文将介绍半导体行业产生的六氟乙烷有机废气该如何处理？
六氟乙烷废气处理方法/工艺
六氟乙烷制备工艺较多，主要有热分解法、电化学氟化法、直接氟化法、金属氟化物氟化法、氟化氢催化氟化法等。因废气风量、种类、成分、浓度及温度不同，所选用的废气处理设备及工艺也有所不同。
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