中芯北方半导体废气治理工程

中芯北方集成电路制造（北京）有限公司成立于2013年7约，是中芯国际与北京市政府共同投资设立的12英寸先jin制程集成电路制造厂。

格林斯达作为中芯北方的大厂商，长期为客户提供全生命周期工艺排气系统一站式解决方案。提供了中芯北方P2-10K/15K/18K酸碱废气系统、事故排风系统、一般排风系统解决方案及项目建设，并参与P2B工艺排气系统项目建设。

酸碱废气系统主要工艺路线：

收集管路➡集管➡酸性/碱性化学洗涤塔➡耐腐蚀风机➡烟囱（达标排放）

事故排风系统主要工艺路线：

收集管路➡集管➡酸性/碱性化学洗涤塔/有机废气处理系统➡风机➡烟囱（达标排放）

一般排风系统解决方案：

收集管路➡集管➡风机➡烟囱