中芯北方半导体废气治理工程
中芯北方集成电路制造(北京)有限公司成立于2013年7约,是中芯国际与北京市政府共同投资设立的12英寸先jin制程集成电路制造厂。
格林斯达作为中芯北方的大厂商,长期为客户提供全生命周期工艺排气系统一站式解决方案。提供了中芯北方P2-10K/15K/18K酸碱废气系统、事故排风系统、一般排风系统解决方案及项目建设,并参与P2B工艺排气系统项目建设。
酸碱废气系统主要工艺路线:
收集管路➡集管➡酸性/碱性化学洗涤塔➡耐腐蚀风机➡烟囱(达标排放)
事故排风系统主要工艺路线:
收集管路➡集管➡酸性/碱性化学洗涤塔/有机废气处理系统➡风机➡烟囱(达标排放)
一般排风系统解决方案:
收集管路➡集管➡风机➡烟囱