喜讯！格林斯达环保“氢化物废气净化”技术喜获国家发明专利

近日，格林斯达环保集团提交的《一种用于含氢化物废气高效净化材料的制备方法、净化材料和应用》发明专利喜获国家知识产权局授权！

在泛半导体行业中，通常将特定量的杂质源掺入到硅晶体或其他半导体晶体表层，以改变半导体的电学特性，而杂质源主要是磷、硼、砷等特气，因此在该掺杂工序中，会产生较多砷磷烷等废气。砷磷烷等废气均为剧毒、易燃气体，无论是对环境还是人体健康都具有较大危害。

集团以科技为支撑，近年来，公司不断加大科技研发投入，积极开展技术创新工作。这项专利的授权为含氢化物有毒有害气体净化提供了先 进、实用的工艺技术，助力格林斯达环保集团在有毒有害气体高效处理技术创新研发方面取得突破性进展，为公司业务横向和众向延伸奠定了坚实的基础。

格林斯达环保集团自2009年创立初期就在工业废气治理这个细分领域深耕和积累，致力于泛半导体领域（半导体、光伏和面板）以及新能源行业废气治理关键设备与核心材料的研发、加工制造、系统集成及智慧运营管理。

公司将会进一步加大研发投入，对现有废气处理技术和新型解决方案进行深度研发和升级，强化创新队伍建设，建立一支本、硕、博不同专业背景成员组成的高水平研发团队，加强研发成果输出，以创新研发带动同行业技术产业化的应用。目标是将公司创新研发中心建设成为国际一 流的泛半导体行业、光伏行业、面板行业多领域废气治理的产业化研发基地，助力世 界 级智能化全生命周期废气处理解决方案提供商，为引领世界环保新时代、缔造百亿市值新企业做出积极贡献。