硅烷气体怎么处理（半导体硅烷废气处理方式及工艺流程）

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更g级的硅氢化合物，通式为SinH2n+2。其中，甲硅烷z为常见，有时也将甲硅烷简称为硅烷。那么你知道硅烷气体怎么处理吗？硅烷废气处理方式方法有哪些吗？工艺流程。下面格林斯达环保为您做简单介绍：

硅烷废气处理方法

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，反应性和自燃性强烈，有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，毒性很大，如果人体吸入硅烷就会强烈刺激呼吸器官，是一种高危险性的气体。

在半导体工厂中，因工作区域一般离中心废气处理系统远，为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积等问题，硅烷（SiH4）废气从无尘室机台端(POU)反应被排放出后，即先由真空Pump抽z废气处理设备Local Scrubber做处理，待处理过后的气体再接续到厂务端做第二道处置。

（格林斯达环保Local Scrubber设备）

通过直流电源，使工作气体（氮气）进入等离子体反应器，在正负极强电流的作用下，被电离成等离子体，瞬间产生巨大的火焰，产生的高温火焰将废气分解。优势在于去除效率高，不需要燃料和热源，耗能低； 处理高沸点废气，应用范围广； 高温、反应速度快， 设备占地面积小、便于安装；

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