半导体特气有哪些（半导体行业特种气体分类）
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半导体特气在半导体制造过程中起着非常重要的作用，对于器件的性能和稳定性有着重要影响。那么，半导体特气有哪些？
半导体行业特种气体分类
- 硅族气体：含硅基的硅烷类，如硅烷、二氯二氢硅等。
- 掺杂气体：含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体。
- 蚀刻清洗气体：含卤素的卤化物及卤碳化合物。
- 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。
- 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。
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