半导体行业酸排碱排包括哪些气体（半导体酸碱排废气种类）
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在半导体制造过程中，需要对酸、碱排气体采取相应的排放处理措施，确保符合相关环保标准，否则会对环境和人类健康造成危害。那么，半导体行业酸排碱排包括哪些气体？本文告诉您半导体酸碱排废气种类。
半导体酸碱排废气种类
半导体行业酸排碱排主要包括以下气体：
- 酸排，即酸性排气，半导体行业酸排废气种类主要包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
- 碱排，即碱性排气，半导体行业碱排废气种类主要包括氮氧化物、二氧化硫、硫化物、硫氧化物等。
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