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半导体行业酸排碱排包括哪些气体(半导体酸碱排废气种类)

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在半导体制造过程中,需要对酸、碱排气体采取相应的排放处理措施,确保符合相关环保标准,否则会对环境和人类健康造成危害。那么,半导体行业酸排碱排包括哪些气体?本文告诉您半导体酸碱排废气种类。

半导体酸碱排废气种类

半导体行业酸排碱排主要包括以下气体:

  1. 酸排,即酸性排气,半导体行业酸排废气种类主要包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
  2. 碱排,即碱性排气,半导体行业碱排废气种类主要包括氮氧化物、二氧化硫、硫化物、硫氧化物等。

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