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氟化物废气怎么处理?半导体产业氟化物废气处理方法介绍

环保领域专家
  • 格林斯达环保集团
  • 擅长:14年废气治理经验,提供方案及设备,助力企业废气达标排放

半导体行业在器件生产环节即硅片清洗、刻蚀、去胶等工艺节点,因为使用氟氢酸来清除硅片表面的氧化物,其过程会排放氟化物废气。该废气是一种具有腐蚀性的酸性废气,必须经废气处理设备净化后才能排放。那么,氟化物废气怎么处理?格林斯达环保公司为您提供氟化物废气处理方法介绍:

氟化物废气处理

集成电路制造行业的氟化物废气处理,格林斯达环保公司设计的废气处理方案,氟化物废气治理湿法净化技术工艺,通常采用水、碱性溶液来吸收氟化物,即废气碱洗。

半导体行业氟化物废气处理方法

对于半导体密闭车间机台的氟化物废气通过吸气罩进行收集,由耐腐蚀风机的负压动力吸入排气风管,再送进连接一体的洗涤塔 对废气进行喷淋碱洗,直zhi气体达标后从烟囱高空排出。

 

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