当前位置:主页 > 行业资讯 > 本文

四氟化碳气体怎么处理?半导体四氟化碳废气处理方法介绍

环保领域专家
  • 格林斯达环保集团
  • 擅长:14年废气治理经验,提供方案及设备,助力企业废气达标排放

近年来,随着我国半导体工业的快速发展,四氟化碳气体排放量逐年増加,直接排放会造成空气污染,甚z人体吸入高浓度的四氟化碳会出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。那么四氟化碳气体怎么处理?格林斯达废气处理公司为您介绍半导体行业四氟化碳废气处理方法如下:

四氟化碳废气处理

由于四氟化碳是目前微电子工业中用量z大的等离子蚀刻气体,因而四氟化碳废气主要产生于半导体产业生产工艺等离子蚀刻。目前,半导体产业四氟化碳废气处理方法,主要是通过直接燃烧方法,热催化氧化方法,等离子体分解方法进行废气净化。

四氟化碳气体处理方法

格林斯达环保公司对半导体产业四氟化碳气体处理方法主要采用直接燃烧法(TO),也称为直接火焰燃烧,它是把废气中可燃的有害组分当做燃料直接烧掉,因此这种废气处理方法只适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气,或者是用于净化有害组分燃烧时热值较高的废气,因为有燃烧时放出的热量能够补偿散向环境中的热量时,才能保持燃烧区的温度,维持燃烧的持续。

半导体废气治理客户案例:绍兴中芯

格林斯达环保废气处理工程案例:绍兴中芯半导体行业废气处理项目

 

以上是《四氟化碳气体怎么处理?半导体行业四氟化碳废气处理方法介绍》全部内容。如有废气处理需求,即刻联系我们吧,期待与您的合作!


提示:本网部分已发布的信息内容可能存在过时,请注意辨别。部分内容整理为互联网/转载官方发布,相关信息仅为传递更多信息之目的,不代表本网观点,不拥有所有权。如有侵权联系删除。

特氟龙是什么材质(特氟龙是什么材料有毒吗)

特氟龙英文全称为Polytetrafluoroetylene,简称Teflon、PTFE、F4等。特氟龙高性能特种涂料是以聚四氟乙烯为基体树脂的氟涂料,英文名称为Teflon,通常又被称之为铁氟龙、铁富龙、特富龙、特氟隆等...

四氟化硅气体怎么处理?四氟化硅废气处理方法介绍

四氟化硅是一种无机物,分子式为SiF4,分子量为104.06。无色、有毒、有刺激性臭味的气体,易潮解,在潮湿空气中可产生浓烟雾。储存需要避免强酸,避免潮湿空气。...

semicon涂层风管(semicon特氟龙FM风管供应商)

semicon涂层风管因其防腐蚀、耐高温等特性,大量用于semicon半导体行业排气系统。下面为您介绍semicon涂层风管,并向您推荐一家semicon特氟龙FM风管供应商。...

氢氟酸废气怎么处理?氢氟酸废气处理工艺方法介绍

集成电路制造行业在硅片清洗、刻蚀和去胶时,需要使用氟氢酸来除去硅片表面的氧化物,同时也会排放出氢氟酸废气,需要经过洗涤塔废气处理设备净化后达标排放。那么,氢氟酸废气怎么处...

内衬特氟龙风管跟普通风管的区别在哪儿(区别大吗)

内衬特氟龙风管常用于企业废气处理系统排气管道组件。那么内衬特氟龙风管跟普通风管的区别在哪儿,区别大吗?...

特氟龙管道耐浓酸吗(特氟龙耐酸碱腐蚀吗)

特氟龙管道主要用于工业排气企业废气处理设备集气运送,它拥有良好的耐热机能,CP结构,通过外部夹形形成耐磨保护,重量轻,阻燃,弯曲极灵活,可压缩,具有较好的伸缩弯曲性等长处,...

氟化物废气怎么处理?半导体产业氟化物废气处理方法介绍

半导体行业在器件生产环节即硅片清洗、刻蚀、去胶等工艺节点,因为使用氟氢酸来清除硅片表面的氧化物,其过程会排放氟化物废气。该废气是一种具有腐蚀性的酸性废气,必须经废气处理设...

风管特氟龙涂层有毒吗(风管特氟龙涂层的作用)

特氟龙涂层风管常用于企业废气处理排气系统,那么风管特氟龙涂层有毒吗?特氟龙涂层有什么作用?...

含氟废气处理(含氟废气处理工艺流程装置)

含氟原料在玻璃生产中的应用广泛,采用氟作为乳浊或增白的原料,熔制时排出的废气有较多的氟化物,污染环境。本文将为你介绍含氟废气处理工艺流程及装置。...

不锈钢内衬特氟龙是什么意思(看完你就知道了)

不锈钢内衬特氟龙产品广泛应用于半导体、微电子、太阳能、光电、光伏电子、石化、船舶、电力、制药业、纺织业、造纸业等高新行业的环保系统领域。那么,不锈钢内衬特氟龙是什么意思?...