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提示：化学吸附塔按需定制。如需选型支持，请您联系格林斯达科技。
化学吸附塔
针对于半导体掺杂制程工序中产生的砷烷、磷烷等有毒废气进行高效处理，净化效率≥99%。
可处理气体类型
砷化氢、磷化氢、硼烷等
项目应用
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