提示：Local Scrubber 尾气处理系统可按需定制。如需选型支持，请您联系格林斯达科技。
位于半导体工厂生产设备侧，用于处理半导体制程中使用或产生的危害性特殊气体。一般作为各类工艺设备的附属装置设置于洁净厂房SUB FAB区域。
可燃性气体、水溶性气体、毒性气体、PFCs类
H2、CO、SiH4、PH₃、CxHy、TMA、Cl2、F2、HCl、HF、HBr、NH3、BH3、B2H6、WF6
NF3、CF4、C2F6、SF6、CHF3、CH2F2、BF3、SiF4、N2O等
* 产品形式根据工况决定。
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可燃性气体、水溶性气体、毒性气体、PFCs类、H2、CO、SiH4、PH₃、CxHy、TMA、Cl2、F2、HCl、HF、HBr、NH3、BH3、B2H6、WF6、NF3、CF4、C2F6、SF6、CHF3、CH2F2、BF3、SiF4、N2O等
* 产品形式根据工况决定。
